2003/2004传感器与执行器大全（年卷）——传感器.变送器.执行器 (2008 年度畅销榜NO.45511 )

本书是中国电子学会敏感技术分会、北京电子学会和北京电子商会传感器分会年卷编委会编写的连续性出版物，每年一卷。本卷分三部分，第1部分介绍微电子传感器基础及应用；第2部分介绍传感器、变送器和执行器产品；第3部分介绍研究、生产和销售这些产品的技术支持。
本书是选用传感器与执行器的必备手册，可供传感器与执行器生产、研制和应用的厂商及科技工作者阅读，也可供高等院校有关专业的师生参考。

第1部分 微电子传感器基础及应用
第1章 绪言
第2章 电子材料及其加工处理
第3章 MEMS用材料及其制备
第4章 标准微电子工艺
第5章 硅体的微机械加工
第6章 硅的表面微机机械加工
第7章 MEMS的微立体平版光刻技术
第8章 微传感器
第9章 微机械加速度计和陀螺仪
第10章 声表面波微传感器
第11章 智能传感器、微执行器和MEMS

第2部分 传感器、送变器和执行器

第1篇 敏感元器件与传感器
第1章 角速度、角度和角加速度陀螺
第2章 编码器
第4章 倾角传感器
第5章 线性加速度传感器
第6章 振动加速度和速度传感器
第7章 线性位移传感器
第8章 厚度、距离、长度和高度传感器
第9章 孔径、圆度和对中仪
第10章 液位和物位传感器
第11章 流量计
第12章 荷重传感器
第13章 力敏传感器
第14章 光纤传感器
第15章 功率计与光度计
第16章 红外测温仪与热像仪
第17章 温度传感器与热敏器件
第18章 磁敏传感器
第19章 电流传感器与电导仪
第20章 气敏传感器
第21章 湿敏（水份）传感器与露点仪
第22章 离子敏传感器
第23章 声敏传感器
第24章 硬度、密度、浊度、表面粗糙度、粉尘度及其他物理传感器
第25章 多功能传感器
第26章 风速计
第27章 电量隔离、扭矩及其他传感器
第28章 传感器试验用设备仪备

第2篇 变送器
第29章 物位、液位和流量变送量
第30章 压力、差压变送器
第31章 温度、湿度及其他变速器

第3篇 执行器
第32章 执行器与执行机构
第33章 阀
第34章 泵
第35章 接近开关
第36章 调节器与连接器
第37章 控制器
第38章 报警器

第3部分 传感器与执行器技术支持
一、中国
二、美国

《传感器与执行器大全》(年卷)已连续出版7卷，《2003／2004传感器与执行器大全》已是第8卷。为了方便科技人员掌握传感器基础知识，从《1999／2000传感器与执行器大全》(年卷)开始，增加传感器基础部分，本卷介绍微电子传感器基础及应用。 本书组成主要分如下三部分： 第1部分微电子传感器基础及应用，计11章。重点内容包括电子材料及其加工处理，MEMS用材料及其制备，标准微电子工艺，硅的微机械体加—工和表面加工，MEMS的微立体平版光刻技术，微传感器，微机械加速度计和陀螺仪，声表面波微传感器，智能传感器，微执行器和MEMS； 第2部分分三篇，计38章。第1篇传感器，计28章，全面、系统地介绍了2003／2004各类传感器敏感元器件的原理、结构、性能和用途。第2篇变送器，计3章，介绍2003／2004各类变送器的原理、结构、性能和用途。第3篇执行器，计7章，介绍电机、泵、阀、接近开关、继电器、转换器、显示器、控制器及报警器等执行器的原理、结构、性能和用途。全书共介绍产品1052种，其中国内产品986种。 第3部分是研制、生产和销售传感器、执行器与变送器的国内外厂商的技术支持资料，计5021家，其中国内厂商1264家。 微电子传感器基础及应用主要来自五方面的文献资料：(1)Julian W．Cardncr，Viiav K．Varadan．Microsensors，MEMS，and Smart Devices．New York：John Wiley&Sons Ltd，2001；(2)Min-Hang Bao．Micro Mechanical Transdncers．NewYork：EISEVIER SCLENCE，2000；(3)M．E1-wenspoek，R．Wiegerink．MechanicalMicrosensors．NewYork：Springer，2001；(4)RandyFrank．Un-demtandingSmartSensors．London：Artech House，2000；(5)主编张福学及其合作者新近研究成果。张永康教授根据(1)-(4)项英文论著提供了编译稿。 传感器与执行器的种类和企事业单位很多，鉴于篇幅有限，已在《实用传感器手册》、《传感器敏感元器件实用指南》，以及《1996／1997传感器与执行器大全》至《2002／2003传感器与执行器大全》中编入的产品中介绍，本书一般不再编入，敬请产品介绍未被编入本书的传感器企事业单位谅解。此外，编入本书的产品介绍基本上保持各厂商的特色，这样就出现了有的产品命名、所用术语、图形符号及单位不符合国家标准公布的规定，为了方便读者查阅厂家产品，这里不做标准的统一工作，在此也请读者注意。 为了适应传感器、变送器和执行器市场的需要，计划每年编辑出版《传感器与执行器大全》(年卷)。新卷本一般仅收集编入市场前景好的产品，欢迎国内外企事业单位和个人向编者推荐新的传感器、变送器与执行器产品。 由于编者水平有限，书中谬误难免，敬请读者批评指正。